防靜電地板在半導(dǎo)體潔凈廠(chǎng)房中的特殊應(yīng)用要...
Q:半導(dǎo)體制造對(duì)生產(chǎn)環(huán)境要求極為嚴(yán)格,請(qǐng)問(wèn)在半導(dǎo)體潔凈廠(chǎng)房中,防靜電地板需要滿(mǎn)足哪些特殊技術(shù)要求?如何確保地板系統(tǒng)長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行?A:半導(dǎo)體制造是靜電敏感度最高的工業(yè)場(chǎng)景之一,對(duì)防靜電地板的要求遠(yuǎn)超普通工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。